1963年,美国出了个洁净室标准FED—STD一209,在这项标准中,按每立方英尺中≥O.5U.m粉尘数量的最高允许浓度,将洁净室分成若干等级,如100级、10000级、100000级。
国家标准 GB50073-2001 个/立方米
洁净度级别 |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(um) |
|||||
0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5.0 |
||
高
↓
低 |
1 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
— |
10 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
— |
|
100 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
29 |
|
1000 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
293 |
|
10000 |
— |
— |
— |
352000 |
2930 |
|
100000 |
— |
— |
— |
3520000 |
29300 |
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